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SK海力士研发AIP制程 挑战300层以上NAND制造瓶颈

2026-02-13
來源:芯智讯

2月12日消息,據韓國媒體zdnet.co.kr報導,韓國存儲芯片大廠SK海力士正在開發一項名為AIP(All-In-Plug) 新一代制程技術,目標是在實現300 層以上高堆疊NAND Flash的同時,大幅降低制造成本。

據介紹,目前的NAND Flash需多次進行關鍵蝕刻流程,但是隨著堆疊層數進入到300層以上,將會面臨使制造成本與制程難度同步大幅上升。AIP 技術則聚焦于NAND Flash制造核心的High Aspect Ratio Contact(HARC)蝕刻流程,通過整合多段制程、減少重復步驟,目標是在維持制程可行性的同時,降低生產成本并改善產能效率。

如果AIP技術順利導入量產,預期自V11 等新一代NAND Flash起,可明顯減少蝕刻步驟數量,并為更高堆疊層數的存儲芯片建立更具經濟性的制造基礎。

SK海力士副總裁Lee Sunghoon在“SEMICON Korea 2026”主題演講中就曾指出,隨著半導體制程復雜度持續提升,沿用過去的技術方式已難以支撐未來發展,因此SK海力士正建立可預測的新一代制程技術平臺,并同步評估更新一代的DRAM 與NAND 的關鍵技術。

Lee Sunghoon 表示,高堆疊層數的NAND Flash成本上升的關鍵因素之一在于蝕刻制程次數增加,如何將多段流程整合為單一步驟,是公司當前的重要技術課題。

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