9月29日消息，半導體工藝越先進，對光刻機的需求就越高，5nm以下量產更少不了EUV光刻機，目前全球只有ASML公司能供應，臺積電、三星、Intel等公司都會向他們下降。

那么這些巨頭中誰擁有的EUV光刻機最多呢？調研機構BOFA公布了2021到2025年為止的EUV光刻機數量，如下所示：

作為全球最大同時先進工藝量產最多的晶圓代工廠，臺積電這幾年來購買的EUV光刻機數量是最多的，除了24年只有10臺之外，平均每年都在25臺左右，累積下來已經超過107臺，是唯一一家數量過百的。

三星從7nm時代就號稱首發量產EUV工藝，所以購買量也不低，除了今年只有3臺，以往每年在10-15臺，累積下來55臺，位列第二。

三星不僅在邏輯工藝上使用EUV光刻機，內存芯片上也逐漸用上EUV光刻機，這也是關鍵因素。

SK海力士之前三年訂購的EUV都很少，這兩年爆發了一波，總計有26臺。

Intel公司之前對EUV不慎積極，但在Intel 4工藝之后也開始應用EUV光刻工藝，前任CEO基辛格搞的IDM 2.0甚至加大了對下一代High NA EUV光刻機的購買，全球第一個下單出貨，但現在的陳立武叫停了不少工廠建設，今年EUV采購量還是0。

累積下來這幾年購買了25臺EUV光刻機，比SK海力士還少1臺。

美光公司因為主要生產內存和閃存芯片，而且對之前也用不到EUV工藝，今年才買了5臺，總量就是這么多了。

這里面還有一家公司值得注意，那就是日本Rapidus，他們成立才2年時間，但野心很大，目標是2027年量產2nm工藝，所以也早早下單了EUV光刻機用于研發，今年就展示過2nm工藝的晶圓，技術進展值得關注。

如果他們的目標實現了，未來Rapidus公司對EUV光刻機的需求量也不少。