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2nm以下节点装备竞赛打响 台积电魏哲家密访ASML总部

2024-05-29
來源:IT之家
關鍵詞: 2nm 台积电 ASML

5 月 28 日消息,根據韓媒 Business Korea 報道,臺積電首席執行官魏哲家撇開了 5 月 23 日自家舉辦的“臺積電 2024 技術研討會”,前往荷蘭訪問位于 Eindhoven 的 ASML 總部,以及訪問德國 Ditzingen 的工業激光專業公司 TRUMPF。

ASML 首席執行官 Christophe Fouquet 和 TRUMPF 首席執行官 Nicola Leibinger-Kammüller 通過社交媒體透露了魏總秘密出訪的行蹤。

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首席執行官 Fuke 表示:“我們向魏總介紹了我們的最新技術和新產品,包括高數值孔徑(High NA)EUV 設備將如何實現未來的半導體微處理技術”。

據此前5月14日報道,臺積電張曉強博士于 5 月 14 日出席在阿姆斯特丹舉辦的技術研討會,他直言:“ASML 的 High-NA EUV 太貴了,我非常喜歡 High-NA EUV 的能力,但不喜歡它的價格”。

臺積電正考慮為劃于 2026 年下半年量產的 1.6 納米產品 A16 之后的工藝引入 High NA EUV 設備,同時在此之前使用現有 Low NA EUV 設備。


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