《電子技術(shù)應(yīng)用》
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尼康起诉阿斯麦和卡尔蔡司侵权

2017-04-26
關(guān)鍵詞: 尼康 半导体 ASML 光刻技术

尼康昨日宣布,已對(duì)荷蘭半導(dǎo)體行業(yè)光刻系統(tǒng)供應(yīng)商阿斯麥(ASML)和德國光學(xué)及光電子學(xué)設(shè)備廠商卡爾蔡司(Carl Zeiss)提起訴訟,指控這兩家公司未經(jīng)授權(quán)而使用其光刻技術(shù)

尼康稱,已在荷蘭、德國和日本對(duì)阿斯麥和卡爾蔡司提起訴訟。卡爾蔡司是阿斯麥的光學(xué)設(shè)備供應(yīng)商。尼康在一份聲明中稱:“阿斯麥和卡爾蔡司在未經(jīng)尼康許可的前提下,在阿斯麥的光刻系統(tǒng)中使用尼康的專利技術(shù)。”

當(dāng)前,光刻系統(tǒng)被廣泛應(yīng)用于制造半導(dǎo)體,而阿斯麥又主導(dǎo)著半導(dǎo)體光刻機(jī)市場(chǎng)。評(píng)級(jí)機(jī)構(gòu)“惠譽(yù)評(píng)級(jí)”(Fitch Ratings)今年1月發(fā)布的調(diào)研報(bào)告顯示,在高端光刻機(jī)市場(chǎng),阿斯麥的份額高達(dá)90%。

尼康在訴訟文件中稱,要求阿斯麥和卡爾蔡司對(duì)未授權(quán)使用專利技術(shù)而做出賠償。

對(duì)此,阿斯麥總裁兼CEO彼得·溫尼克(Peter Wennink)稱:“尼康的訴訟毫無依據(jù),沒有必要,為半導(dǎo)體市場(chǎng)制造了不確定性。”溫尼克還稱,阿斯麥曾多次試圖與尼康談判,希望能對(duì)當(dāng)前的一份交叉授權(quán)協(xié)議進(jìn)行延期。


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