全球微機電系統(tǒng)（MEMS）產業(yè)蝕刻和沉積設備供應商Point 35 Microstructures，今天宣布將于3月17-19日在于上海舉行的SEMICON China 2009上推出其新型memsstar制造系統(tǒng)。與此同時，公司還將發(fā)布其中國市場營銷和服務戰(zhàn)略。?

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中國新的工業(yè)化進程正在推動著許多無晶圓廠半導體公司和先進元件公司對MEMS技術與產品更多的關注。例如，2008年中國的制造廠商生產了大約932萬輛汽車和5.6億部移動電話，因此中國正在成為諸如速度傳感器和硅麥克風這樣的MEMS器件最重要的市場之一。現在，MEMS更多的應用領域正在不斷涌現，這類產品可以廣泛應用在諸如移動通信、計算機、消費電子、醫(yī)療器械和工業(yè)電子等等領域中。?

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為了滿足這些市場需求，Point 35將其新型MEMS平臺和完善的服務帶到了中國。該公司的memsstar除了以可靠性著稱外，該系統(tǒng)還可以用于不同類型的MEMS產品，并可覆蓋從開發(fā)到批量生產的各個階段。Point 35正在中國建立它的服務體系以支持本土潛在的memsstar合作伙伴，還將與其中國本土分銷商WESI Technology公司一起參加SEMICON China 2009，其展位號為#4722。?

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“全球MEMS產業(yè)越來越需要用于釋放刻蝕和涂敷的創(chuàng)新性研究和制造設備解決方案，而這個領域在memsstar出現之前還是一片空白。”Ponit 35 Microstructures的營銷副總裁和共同創(chuàng)始人Tony McKie說：“MEMS產品在中國具有廣闊的發(fā)展前景，因此我們來到SEMICON中國并將展示我們最先進的系統(tǒng)。我們期待著與中國的合作伙伴一起，共同建立一個強大的MEMS開發(fā)和制造產業(yè)。”?

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memsstar采用汽相單晶圓工藝來完成大部分MEMS器件所需要的釋放腐蝕和表面修正工藝步驟。它采用獨特的CCFT工藝控制技術和廣泛的化學品，用戶得到了拓寬的工藝窗口和集成的工藝控制，這遠遠超過了其它現有的系統(tǒng)和方法。各種memsstar系統(tǒng)以低入門級成本提供了快速的產能、小體積、低消耗和低排放、可擴展平臺、工藝控制和高重復性。系統(tǒng)配置可以匹配到從研發(fā)到大批量生產的任何一種情況，實現在各種環(huán)境之間的無縫轉接。具體的應用包括運動傳感器、微顯示器、硅麥克風、流體通道、測輻射熱計陣列、壓力傳感器等等。?

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關于Point 35 Microstructures?

Point 35 Microstructures由四位經驗豐富的半導體制造專家于2003年成立，以提供一流的全規(guī)格翻新半導體制造工藝設備和服務起家，所提供的翻新后系統(tǒng)不僅具有性能保障，而且還通過了最新的CE標準認證。該公司尤其擅長于應用材料公司、Lam研究所和Novellus系統(tǒng)等廠商的設備。?

Point 35 Microstructures于2004年推出了MEMS制造系統(tǒng)memsstar專有品牌。這些MEMS工藝設備和現場工藝集成專業(yè)知識確保了客戶可以成功地過渡到集成干法工藝，并且能夠覆蓋從MEMS器件的研發(fā)到大批量制造等各階段。?

2006年，國家微電子研究所授予該公司最具創(chuàng)新性公司稱號。?

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