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郭超群：敞开式离子源和微型气泵集成的微型针-柱放电结构芯片设计与实验设计
郭超群：敞开式离子源和微型气泵集成的微型针-柱放电结构芯片设计与实验设计
2016-08-09
關鍵詞：
微纳米
內容簡介：
郭超群：敞開式離子源和微型氣泵集成的微型針-柱放電結構芯片設計與實驗設計
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