高速激光点阵光刻机的设计
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文檔介紹:为了制作大尺寸激光防伪商标,开发了高速激光点阵光刻机。该光刻机以工控机为上位机,ARM LPC2138和单片机STC12C5401AD为下位机,采用直线电机直接驱动X-Y工作台,实现了高速高精度定位。
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