MEMS及微机械加速度计可靠性研究
所屬分類：技术论文
上傳者：bixd
文檔大?。?span>143 K
標簽： 传感器与数据采集
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文檔介紹：由于MEMS 器件的应用日益频繁, 其可靠性研究就显得十分重要。介绍了引起可靠性问题的原因。 以微机械加速度计为例, 指出了该加速度计的可靠性问题, 以及对其可靠性测试研究的内容。
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