| mems-ic 设计的新平台和结构化方法 | |
| 所屬分類：解决方案 | |
| 上傳者：bixd | |
| 文檔大?。?span>428 K | |
| 標(biāo)簽： 传感器与数据采集 | |
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| 文檔介紹：伴随着传感技术在汽车和消费电子产品的迅速普及，微机电系统（MEMS）在最 近几年已进入主流。为了控制及信号调理，基于MEMS 的传感器必然需要密切耦 合的电子电路。电子电路要么独立于MEMS，要么和MEMS 在一个裸片中嵌入 到模拟/混合信号集成电路中。MEMS 设计通常需要一个使用三维机械CAD 和有 限元工具来进行功能验证的专家团队；而 IC 设计是通过EDA 工具，如Cadence Virtuoso 客户设计环境，来实现。传统上，MEMS 设计人员手工制作了Verilog - A 模型以便放入到IC 设计中去。这些手工制作的模型往往过于简单，而且非参数 化。此外，创建这些模型相当费时，并需要专门知识。随着来自于消费电子行业 的市场拉动朝着更多功能、更低成本和更快的推向市场时间迈进，传统设计方法 的缺点日益明显。本文介绍了一种MEMS 器件设计，及在Cadence Virtuoso 设计 环境与集成电子产品一起仿真的新方法。采用德州仪器的数字微反射镜器件 （DMD）的例子，我们展示新的MEMS - IC 设计方法如何可以应用到一个镜面 阵列，并将多个MEMS 微镜与电子控制电路一起仿真。 | |
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