芯片制造的一项关键技术，了解一下？
所屬分類：技术论文
上傳者：zhoubin333
文檔大小：1386 K
標簽： 芯片制造 CMP 仿真
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文檔介紹：CMP 仿真是选择在芯片制造期间使用最佳 CMP 工艺的宝贵工具。ECD 后产生的大幅表面形貌变化会影响 CMP 后的表面轮廓。 此外，设计上较弱的远程相互作用是 ECD 后的表面轮廓所固有的，这意味着给定图形上方的表面高度不仅仅由图形本身定义，还受相邻图形的影响。 能否创建精确的 ECD 后模型对于成功的 CMP 仿真至关重要。
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