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KLA-Tencor 的 SensArray 分部高級副總裁兼總經理 Larry Wagner 表示：“PlasmaVolt X2 是對我們的 SensorWafer 系列的重要補充，現在，工程師能夠在等離子室內獲得獨一無二，且與等離子效應相關的晶圓級" title="晶圓級">晶圓級的指紋特征。PlasmaVolt X2 是現今唯一可用的晶圓級等離子狀況測量方式。”?

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今天的蝕刻工程師面臨著匹配蝕刻室，以在整個工具集內獲得一致性能的嚴峻挑戰，而蝕刻性能則取決于對眾多工藝參數的控制，包括等離子均勻度。隨著半導體行業向高級設計規則遷移，制程時間窗口持續縮短，這讓等離子對參數的細微變化越來越敏感。目前，需要在產品或樣本晶圓上頻繁地測量蝕刻率和均勻度，此程序可能長達 12 小時。在工程師無法看到蝕刻序列中其它步驟的情況下，這種晶圓測試為整個蝕刻流程僅產生一個結果。 ?

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PlasmaVolt X2 可測量等離子室中的“晶圓上”效應，并提供整個蝕刻流程中關于等離子行為的詳細信息。測量后可立即得到結果，將獲取結果的時間縮短了幾個小時。有了這些完整的等離子室信息，蝕刻工程師現在將能比較整個晶圓廠內的等離子室，并進行必要的工藝調整。在機臺監控、機臺檢驗及工藝開發應用方面，PlasmaVolt X2 搭配 KLA-Tencor 專為溫度測量而設計的 PlasmaTemp G4，成為有效映射完整等離子室的最佳工具。?

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關于 KLA-Tencor：KLA-Tencor 公司是專為半導體和相關微電子行業提供工藝控制及良率管理解決方案的全球領先供應商。該公司總部設在美國加州的 Milpitas，銷售及服務網絡遍布全球。KLA-Tencor 躋身于標準普爾 500 強公司之一，并在納斯達克股票市場上市交易，其股票代碼為 KLAC。有關該公司的更多信息，請訪問 http://www.kla-tencor.com。(KLAC-P)?

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PlasmaVolt 和 SensorWafer 是 KLA-Tencor 公司的商標。?