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国产光刻胶成功打入国内头部晶圆厂产线

2026-06-12
來源:快科技

6月11日消息,在先進工藝方面,除了最受關注的光刻機之外,國內被卡脖子的環節還有先進光刻膠,現在又有一家公司殺進這個市場,開始給國內頭部晶圓廠供貨了。

鼎龍股份今晚發布公告,宣布近期在KrF/ArF高端晶圓光刻膠領域持續取得訂單突破。

公司年產300噸KrF/ArF高端晶圓光刻膠產線自2026年3月20日投產后,已向兩家頭部晶圓廠客戶交付數百加侖浸沒式ArF及KrF光刻膠,并在客戶量產產線順利應用。

因公司光刻膠產品性能穩定、使用效果良好,上述兩家客戶近期合計新增訂單近1,000 加侖。

截至本公告披露日,公司已有8款高端晶圓光刻膠(其中ArF光刻膠與KrF光刻膠各4款)取得多家國內主流晶圓廠客戶的批量訂單,即較今年一季度末新增5款,并有數款產品預期在今年年內實現訂單轉化。

公司正積極提升產品交付速度,2026 年上半年產品交付量預計顯著提升,商業化進程顯著加快。

測試進展方面,公司已經累計布局40余款高端晶圓光刻膠,近30款產品向客戶送樣開展驗證測試,其中超10款進入加侖樣測試階段。

這個公告的意義在哪里?此前國內少說也有四五家公司宣布ArF光刻膠開始出樣給廠商,但他們很少提及這個光刻膠的具體技術水平,而鼎龍這個公告中加入了浸沒式ArF這個說法,意味著這次的光刻膠技術水平是比較高水平的了。

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光刻膠雖然是半導體制造中的核心材料之一,但不同產品技術水平差異很大,最先進的當屬EUV光刻膠,國內還在科研攻關中,而ArF是目前主流的DUV光刻機(193nm波長)所用的光刻膠。

但是ArF光刻膠是干式的還是浸沒式的差別也很大,前者一般用于28nm之前的工藝,浸沒式ArF(有的縮寫為ArFi)則是14nm到7nm節點在用的,技術水平要更高一兩個級別。

德邦這個22年發布的研報中還提到ArF光刻膠價格差不多要1000萬元一噸,這兩年各種漲價之下只會更高了,因此含金量還是很高的。

鼎龍這次公告宣布的浸沒式ArF光刻膠供貨國內兩大頭部晶圓廠(具體可以猜猜是誰)也算是一個重要突破了,在此之前國內只有南大光電去年宣布給國內晶圓廠出樣過浸沒式ArF光刻膠,其他廠商多是含糊提到ArF或者KrF光刻膠出樣。

當然,更詳細的技術細節是沒有企業官方公告的,一方面是國內產業發展的保密需要,另一方面估計也沒有哪家企業愿意透露具體指標,股民們要的就是這種模糊感才有的想象空間。

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