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新一代国产高频飞秒激光剥蚀系统成功研制

2026-04-03
來源:科技日报

激光剝蝕系統是地球科學、材料科學等學科原位微區元素—同位素測試分析的基礎進樣設備,直接決定了分析測試的空間分辨率和測試精度。記者4月2日獲悉,廣州拓巖精密制造有限公司(以下簡稱廣州拓巖)技術團隊實現了激光光源、衰減器、振鏡等核心部件的國產化,近日成功研制出新一代國產高頻飛秒激光剝蝕系統——Geo Ablate 343。該設備搭載自主開發的“高頻飛秒激光采集和控制系統”,實現了從硬件到軟件的全流程自主可控。

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近年來,隨著石英、螢石等難剝蝕礦物測試需求的日益增加,以及高純石英等戰略礦產資源開發的不斷深入,常用的193納米或213納米納秒激光剝蝕系統因其熱效應顯著、剝蝕精度瓶頸、運行成本偏高等痛點,難以滿足科研與產業的高端應用需求。飛秒激光剝蝕系統因其熱效應低,成為解決上述問題的最佳方案。

然而,傳統飛秒激光剝蝕系統難以突破束斑較小、能量密度低且校準維護困難的技術瓶頸,且面臨進口設備及軟件高昂的維護成本、操作復雜與算法受限等多重壁壘。

為解決技術難題,技術團隊創造性地引進了高頻飛秒激光設計思路。研發團隊一體推進國產配件篩選、硬件系統搭建、電子系統集成、軟件系統控制編寫等,最終成功研制出Geo Ablate 343。

“Geo Ablate 343的核心競爭力在于其對傳統激光剝蝕系統技術原理的革命性創新。”廣州拓巖總經理楊毓波介紹,與市場上常用的激光剝蝕系統相比,該設備具備飛秒激光剝蝕的全部核心優勢。

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