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华为公开“半导体装置以及半导体装置的制作方法”专利

2024-02-05
來(lái)源:集微网
關(guān)鍵詞: 华为 半导体装置 专利

企查查顯示,近日華為技術(shù)有限公司新增多條專(zhuān)利信息,其中一條名稱(chēng)為“一種半導(dǎo)體裝置以及半導(dǎo)體裝置的制作方法”,公開(kāi)號(hào)為CN117501441A。

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專(zhuān)利摘要顯示,本申請(qǐng)實(shí)施例公開(kāi)了一種半導(dǎo)體裝置以及半導(dǎo)體裝置的制作方法。一種半導(dǎo)體裝置包括:硅通孔以及依次層疊的第一芯片,第二芯片和第五絕緣層。第一芯片包括具有第一開(kāi)口的第一絕緣層;第一開(kāi)口暴露出第一電連接層。硅通孔包括相連的第一段硅通孔和第二段硅通孔;第一段硅通孔位于第一開(kāi)口中,第一段硅通孔的底部為第一電連接層;第二段硅通孔貫穿第二芯片,第二段硅通孔的底部連接第一段硅通孔,頂部連接第三電連接層;第一金屬通孔的底部連接第二電連接層,頂部連接第三電連接層。第一電連接層和第二電連接層通過(guò)硅通孔、第一金屬通孔和第三電連接層形成電連接。實(shí)施本申請(qǐng)實(shí)施例,可以減小或避免因?yàn)殡姾啥逊e,造成的硅通孔刻蝕過(guò)程中硅橫向刻蝕。

據(jù)悉,截至2022年底,華為持有超過(guò)12萬(wàn)項(xiàng)有效授權(quán)專(zhuān)利,主要分布在中國(guó)、歐洲、美洲、亞太、中東和非洲。其中,華為在中國(guó)和歐洲各持有4萬(wàn)多項(xiàng)專(zhuān)利,在美國(guó)持有22,000多項(xiàng)專(zhuān)利。華為2023年前三季度研發(fā)費(fèi)用為1149.91億元,預(yù)計(jì)10年間累計(jì)研發(fā)費(fèi)用可突破萬(wàn)億元。根據(jù)歐盟2023年最新數(shù)據(jù),華為研發(fā)費(fèi)用排名世界第五。

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