臺積電、三星今年就要量產5nm工藝了，國內的先進工藝還在追趕，最大的晶圓代工廠中芯國際去年底量產了14nm工藝，帶來了1％的營收，收入769萬美元，不過該工藝技術已經可以滿足國內95％的需求了。

14nm及改進型的12nm工藝是中芯國際第一代FinFET工藝，他們還在研發更先進的N＋1括N＋2 FinFET工藝，分別相當于7nm工藝的低功耗、高性能版本。

根據中芯國際聯席CEO梁孟松博士所示，N＋1工藝和14nm相比，性能提升了20％，功耗降低了57％，邏輯面積縮小了63％，SoC面積減少了55％。

N＋1之后還會有N＋2，這兩種工藝在功耗上表現差不多，區別在于 性能及成本，N＋2顯然是面向高性能的，成本也會增加。

至于備受關注的EUV光刻機，梁孟松表示在當前的環境下，N＋1、N＋2代工藝都不會使用EUV工藝，等到設備就緒之后，N＋2工藝可能會有幾層光罩使用EUV，之后的工藝才會大規模轉向EUV光刻工藝。

現在最關鍵的是中芯國際的7nm何時量產，最新消息稱中芯國際的N＋1 FinFET工藝已經有客戶導入了（不過沒公布客戶名單），今年Q4季度小規模生產——這個消息比之前的爆料要好一些，進度更快。

為了加快先進工藝產能，中芯國際今年的資本開支將達到31億美元（該公司一年營收也不過30億美元上下），其中20億美元用于中芯國際的上海12英寸晶圓廠，5億美元用于北京12英寸晶圓廠。

作者：憲瑞