攸關臺積5nm先進制程布局的南科環境影響差異分析報告案昨（24）日通過專案小組審查。臺積電表示，臺積5nm制程將在明年動工，計劃在2020年量產，迎戰三星。

　　南科第一期和第二期環評分別于1996年及2003年通過，因臺積電和聯電更新半導體制程，須增加用水用電量，依規定須辦理環差變更，環保署昨日召開南科環境影響差異分析報告專案小組第三次審查會議。

　　南科管局長林威呈昨天出席作簡報，包括臺積電和聯電都派代表參加，臺積電副處長陳鏘澤特地向環評委員及環團解釋半導體制程為何快速更新。他說，半導體產業技術根據Moore‘s Law，持續推進縮小積體電路線寬，以制造更節能、更環保的產品，約每兩年增加一倍電晶體數目，每18個月晶片效能提升一倍。

　　他舉例，5nm晶粒是28nm的14%，且單位晶粒生產用電用水量分別是28nm的43%及37%，因5nm的產品技術門檻高，市占率及單位產值亦將隨之成長。臺積電和三星競爭早已從10nm訂單往前延伸到未來新制程，臺積必須進入5nm制程，若能通過環差審查，5nm制程預計明年就可動工。

　　因更新制程，南科每日增加5萬噸用水量、70萬千瓦用電量。林威呈表示，南科承諾未來將采用1.25萬噸的永康再生水、及園區2萬噸工業回收再生水，將在南科環三用地上設置再生水廠。