《電子技術(shù)應(yīng)用》
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台积电5nm制程首次曝光

2015-07-23
關(guān)鍵詞: 台积电 半导体行业 晶圆

    7月22日晚間消息,美國《財富》雜志發(fā)布新一期世界500強排行榜,臺積電上榜排名第472位。

  作為全球最大的代工廠,臺積電這幾年并不是很順利,但每每展望未來總是一片光明:2016年第四季度量產(chǎn)10nm,2018投產(chǎn)7nm……那么再往后呢?就是5nm了。嗯,沒錯,越往后進(jìn)步幅度就會越小,5nm之后還能不能繼續(xù)前進(jìn)都是個大問題了。

  為了解決工藝提升中的各種復(fù)雜挑戰(zhàn),半導(dǎo)體行業(yè)早就想出了各種各樣的高招,但因為成本太過于高昂,技術(shù)太過于復(fù)雜,一直都很難投入實用,比如說極紫外光刻(EUV)。

  根據(jù)規(guī)劃, 臺積電的10nm、7nm都會用上EUV極紫外技術(shù),更遙遠(yuǎn)的5nm也會如此,而且還會加入新的多重電子束技術(shù)(multipe e-beam)。

  不過,5nm還屬于長期規(guī)劃,需要解決的問題太多太多,何時投產(chǎn)尚無明確時間表,臺積電只是說會在2014-2019年間不斷研究5nm。

  業(yè)內(nèi)人士預(yù)計,10nm之后的工藝至少5年以后才能實現(xiàn),照這么預(yù)計及時7nm也得等到2020年,而按照臺積電這幾年的拖沓表現(xiàn),還真不好說。

  Intel也在一直研究極紫外光刻和450毫米大晶圓,但多次推遲了投產(chǎn)進(jìn)度。450毫米晶圓已經(jīng)在試產(chǎn),應(yīng)該會在10nm上使用。極紫外說不定得等7nm。


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