2015年1月，盛美半導體再次獲得海力士（SK Hynix）三臺8腔體單片清洗機訂單，使得該公司目前銷售到海力士大生產線上的設備數量累計已達7臺。
盛美半導體的首席執行官王暉談到：“得到海力士的批量重復訂單，標志著盛美半導體的300mm單片清洗機在產品良率提升上有突出表現，機臺性能及穩定性等各方面已經能夠全面滿足國際主流大生產線22nm技術節點的嚴格要求 ?！?/p>
海力 士在生產集成電路過程中，薄膜沉積（Si3N4,Oxide,Carbon..）后、CMP后、Barrier Metal 沉積前、深孔蝕刻后等多個工藝流程都需要進行清洗。上述3臺配備了盛美半導體獨家專利技術“空間交變相位移兆聲波技術”的設備，通過配合適當的化學藥液（如SC-1， H2-功能水等），可在微小顆粒（小于65nm）去除，化學氧化層控制以及深孔清洗等工藝表現上優于國際市場上美國, 日本主流設備商的單片清洗機。
海力士在2011年被韓國的SK集團收購，是世界第二大DRAM（最常見的一種系統內存）制造商，公司規模在整個半導體行業名列第四位。
本站內容除特別聲明的原創文章之外，轉載內容只為傳遞更多信息，并不代表本網站贊同其觀點。轉載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權歸版權所有權人所有。本站采用的非本站原創文章及圖片等內容無法一一聯系確認版權者。如涉及作品內容、版權和其它問題，請及時通過電子郵件或電話通知我們，以便迅速采取適當措施，避免給雙方造成不必要的經濟損失。聯系電話：010-82306118；郵箱：aet@chinaaet.com。